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（1）《射頻微機電系統的理論、設計、制備及應用》正版圖書
（2）《最新射頻微機電系統技術內部資料匯編》正版光盤(1張)，有2000多頁內容,獨家資料
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（1）《射頻微機電系統的理論、設計、制備及應用》正版圖書
  射頻微機電系統技術是微機電系統的重要組成部分，本書主要從理論、設計、加工、封裝和應用等方面介紹射頻微機電系統器件與系統，結合作者及其團隊近年來在相關領域的研究成果，詳細分析和闡述傳輸線、天線、可調電感、可變電容、開關、濾波器、移相器等核心器件的基本原理、主要類型、設計方法、加工技術、性能測試和典型應用等，為讀者勾勒出射頻微機電系統技術較為全面的技術基礎、研究現狀和發展趨勢。
《微納制造的基礎研究學術著作叢書》序
前言
第一章  RF MEMS
  1.1  MEMS概述
  1.2  RF MEMS簡介
  1.3  RF MEMS發展歷史
  1.4  RF MEMS常用工藝
    1.4.1  體硅工藝
    1.4.2  表面硅工藝
  1.5  RF MEMS應用
    1.5.1  在可重構電路中的應用 
    1.5.2  在手提式無線系統中的應用
    1.5.3  在基站中的應用
    1.5.4  在無線能量傳輸中的應用
    參考文獻
第二章  RF MEMS設計與仿真
　2.1  ANSYS
    2.1.1  主要功能
    2.1.2  分析實例：平行板電容
　2.2  CoventorWare 
    2.2.1  主要功能
    2.2.2  分析實例：可調電容
　2.3  IntelliSuite
    2.3.1  主要功能
    2.3.2  分析實例：RF開關
　2.4  HFSS
    2.4.1  主要功能
    2.4.2  分析實例：矩形波導腔體天線 
　2.5  CSTMicrowave Studio 
    2.5.1  主要功能
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第三章　RF MEMS傳輸線
第四章　RF MEMS電感
第五章　RF MEMS可變電容
第六章　RF MEMS開關
第七章　RF MEMS濾波器
第八章　RF MEMS移相器
第九章　RF MEMS天線
第十章　RF MEMS封裝
索引
（2）《各種射頻微機電系統技術內部資料匯編》正版光盤(1張)，有2000多頁內容,獨家資料
1  一種單芯片微機電系統及其制備方法
2  一種微機電系統及其制備方法
3  微機電系統麥克風構件和具有所述微機電系統麥克風構件的設備
4  微機電系統用可動質量塊的制造方法
5  用于釋放微機電系統裝置中的隔膜的方法
6  一種微機電陀螺系統
7  用于機車制動系統的微機控制電空制動單元
8  供在微機電及其它系統中使用的開關及其制造工藝
9  具有微機電系統運動傳感器的移動設備硬件姿態檢測實現
10  保護微機電系統麥克風聲音端口及其在晶片級形成的方法
11  專用集成電路(ASIC)上的微機電系統(MEMS)
12  一種微機繼電保護的通信系統裝置
13  微機電器件、微機電麥克風和電子系統
14  微機電陀螺系統及其控制方法
15  微機電系統麥克風芯片封裝體
16  一種基于微機電系統的光傳感裝置和光傳感方法
17  微機電系統元件制造方法及以此方法制造的微機電系統元件
18  多級靈敏度輸出的微機電系統麥克風裝置以及其電路
19  一種減少微機電系統麥克風制作過程中產生的粘黏的方法
20  微機電系統的可動載具結構
21  一種全硅結構的微機電系統真空傳感器
22  一種輸電線路的微機繼電保護系統
23  微機電系統器件
24  一種微機電系統復合犧牲層的處理方法
25  一種高壓繼電保護微機系統電磁抗干擾通信端口
26  通過形成碳化硅層來減小微機電系統的粘滯
27  靜電驅動微機電系統二維掃描微鏡
28  基于優化盒維數圖像匹配的微機電系統面內位移測量方法
29  靜電驅動微機電系統二維掃描微鏡
30  梯度微機電系統麥克風
31  微機電系統(MEMS)多軸陀螺儀Z軸電極結構
32  一種基于微機電加速度芯片的無線索力測試系統
33  微機電系統諧振傳感器及其控制方法
34  微機電系統(MEMS)結構及設計結構
35  微機電系統麥克風封裝及封裝方法
36  具有中心懸吊件和環架結構的微機電系統(MEMS)多軸陀螺儀
37  微機電系統麥克風
38  用于補償抖動的微機電系統裝置和設備
39  用于微機電系統器件的有源側向力粘滯自恢復
40  基于微機電系統傳感器的室內路徑測量方法與裝置
41  微機繼電保護測試系統
42  射頻微機電系統(MEMS)的電容式開關
43  微機電系統鏡片及微機電系統反射裝置
44  微機電系統與集成電路的集成芯片及其制造方法
45  微機電系統芯片尺寸封裝
46  微機電系統及檢測電路
47  微機電系統器件在制造過程中的加固方法
48  一種體硅微機電系統MEMS結構繼續正面工藝的方法
49  多振膜微機電系統麥克風結構
50  微機電系統開關
51  頂部端口微機電系統腔體封裝
52  用于電子設備封裝的蓋件、包封的微機電設備和電子系統
53  一種基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器
54  微機電系統傳感器及其制造方法
55  一種基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器
56  一種微通道散熱器及由其組成的微機電產品散熱系統裝置
57  具有抗裂膜結構的微機電系統器件及其制造方法
58  雙層微機電系統器件及其制造方法
59  微機電系統(MEMS)以及相關的致動器凸塊、制造方法和設計結構
60  通風微機電系統裝置和制造方法
61  基于改進微分進化算法的微機電系統組件的布局優化方法
62  微機電系統元件、電子裝置、高度計、電子設備及移動體
63  微機電系統元件、電子裝置、高度計、電子設備及移動體
64  平面磨床的微機電液比例調速系統
65  用于微機電系統(MEMS)設備的彈簧
66  微機電系統器件的制造方法
67  微機電設備和電子系統
68  微機電系統晶圓級封裝結構
69  一種具有真空腔的微機電系統露點傳感器及其制造方法
70  一種基于微機電系統的微干涉平臺
71  基于光纖-微機電傳感器的輸電線路在線參數監測系統
72  微機電陀螺系統及微機電陀螺控制系統
73  微機電系統及檢測電路
74  一種微機電系統封裝方法
75  微機電系統(MEMS)及相關致動器凸塊、制造方法和設計結構
76  帶CT掃描成像系統的微機控制電液伺服多場耦合巖石三軸試驗機
77  液態微機電系統磁性部件
78  液態微機電系統電容器
79  液態微機電系統部件及其射頻應用
80  一種基于微機電系統的撓曲電式微壓力傳感器
81  蝕刻嵌在玻璃中的犧牲特征來制造微機電系統結構的方法
82  微機電系統麥克風
83  一種用于微機電系統的磁場調控的智能器件及其制備方法
84  微機電系統晶圓級封裝結構及封裝方法
85  微機電系統器件剖面形貌分析樣品的制備方法
86  微機電系統
87  微機電系統薄片及其制備方法
88  一種用于微機電地震采集系統的同步系統與方法
89  一種自傾斜微機電系統微鏡的制作方法
90  一種單軸微機電系統陀螺儀
91  一種用于測量磁場方向的微機電系統磁場傳感器
92  微機電系統麥克風
93  具有多記錄監控單元的微機電數字檢波器采集系統與方法
94  一種帶閉環控制系統的微機電干涉平臺
95  加強的微機電系統裝置及其制造方法
96  用于微機電系統MEMS設備的驅動器及MEMS系統
97  微型化的集成微機電系統(MEMS)光學傳感器陣列
98  包括金屬檢驗質量塊和壓電組件的微機電系統設備
99  一種單軸微機電系統陀螺儀
100  基于彈性基底和背面引線的微機電系統探針卡和制備方法
101  基于微機電系統的傅里葉光譜儀
102  微機電系統器件的封裝結構
103  基于微機電系統的熱量計及有關制造和應用
104  微機電系統與集成電路的集成芯片
105  包括凸點下金屬化層的微機電系統器件
106  一種微機型繼電保護測試儀智能檢測系統
107  微機電系統(MEMS)驅動器
108  傳感器電路和對微機電系統傳感器進行測試的方法
109  傳感器電路及測試微機電系統傳感器的方法
110  基于微機電系統的傅里葉光譜儀
111  微機電系統裝置的氣密性密封
112  一種應用于微機電系統器件的真空封裝方法
113  微機電系統傳感器
114  一種帶閉環控制系統的微機電干涉平臺及其控制方法
115  微機電伴熱系統
116  變壓器微機繼電保護系統
117  一種基于低精度微機電系統的捷聯慣導系統初始對準方法
118  用于微機電系統的密封封裝
119  減小微機電系統上的應力的封裝
120  一種微機電系統橋膜結構殘余應力的測試方法
121  基于微機電系統光譜分析的便攜式拉曼光譜儀
122  一種基于微機電系統的自動對焦鏡頭
123  微機電系統(MEMS)結構和設計結構
124  一種具有振蕩模塊的微機電系統裝置
125  微機電系統
126  微機電系統(MEMS)電容式歐姆開關和設計結構
127  基于壓電的微機電透鏡致動系統
128  用于慣性微機電系統的抗粘合方法、對應的計算機程序產品、存儲構件和裝置
129  微機電設備和電子系統
130  微機電系統器件
131  通用微機電系統計步器及計步方法
132  一種微機電系統電導率傳感器的接口電路
133  微機電系統及其制造方法
134  帶有密封環的半導體封裝結構以及微機電系統器件
135  制備微機電系統麥克風的方法
136  微機電系統壓力傳感器及其制作方法、微機電系統
137  微機電系統壓力傳感器及其制作方法、微機電系統
138  一種基于微機電系統的微透鏡
139  一種基于微機電系統加速度傳感器的動作電視遙控裝置
140  一種微機電系統電導率傳感器的接口電路
141  制造提供氣隙控制的微機電系統裝置的方法
142  用于微機電系統顯示架構的低范圍位深度增強的方法及設備
143  感測旋轉及加速度兩者的微機電系統裝置
144  微機電系統雙穩態光學開關及其使用方法
145  使用具有非平坦部分的背板保護微機電系統陣列的系統和方法
146  一種具有嵌入式織物材料防護屏的微機電系統傳聲器
147  微機電系統裝置及其制造方法
148  微機電系統可變電容器
149  一種基于微機電系統的微透鏡
150  微機電系統可調式光衰減器
151  一種基于微機電系統的自動對焦鏡頭
152  光子微機電系統和結構
153  微機電系統
154  平面腔體微機電系統及相關結構、制造和設計結構的方法
155  平面腔體微機電系統及相關結構、制造和設計結構的方法
156  微機電系統結構
157  基于微機電開關(MEMS)的過電流電機保護系統
158  平面腔體微機電系統及相關結構、制造和設計結構的方法
159  針對微機電集成系統的內建自測試系統
160  平行度可調的微機電系統法布里珀羅腔波長可調諧濾波器
161  用于微機電系統的化學機械研磨處理流程
162  包括微機電開關(MEMS)裝置的配電系統
163  用于微機電系統器件的半導體封裝體及其制造方法
164  一種基于微機電系統動鏡的傅里葉變換微光譜儀
165  使用微機電系統裝置的壓力測量
166  微機電系統麥克風
167  微機電系統(MEMS)裝置
168  具有間隙擋塊的微機電系統(MEMS)及其制造方法
169  微機電系統麥克風裝置及其制作方法
170  微機電混合陀螺儀的電路系統
171  雙單元微機電系統組件
172  微機電系統裝置及其制造方法
173  一種自傾斜微機電系統微鏡
174  多功能控制式微機直通電空制動系統
175  可植入的微機電系統眼內壓力傳感裝置及青光眼監控方法
176  可植入的眼科微機電系統傳感裝置及眼睛外科手術方法
177  用于微機電系統設備的具有聲學氣道的基于引腳框的預塑模封裝
178  微機電系統聲壓感測元件及其制作方法
179  微機電系統及其制造方法
180  一種基于模糊補償的微機電陀螺儀模糊自適應控制系統