003 數(shù)字電容式無(wú)電刷型角位移傳感器及其檢測(cè)方法
[摘要] 本發(fā)明涉及一種數(shù)字電容式無(wú)電刷型角位移傳感器，由機(jī)械和電氣兩大環(huán)節(jié)構(gòu)成；其中，機(jī)械結(jié)構(gòu)主要包括電容角位移傳感器敏感元件(由極板、轉(zhuǎn)動(dòng)極板、接收極板組成)以及轉(zhuǎn)軸等；電氣結(jié)構(gòu)包括測(cè)量部件(由選擇單元、激勵(lì)源和電荷檢測(cè)電路組成)、智能部件(由I/O單元、A/D單元、濾波單元、計(jì)算單元組成)和接口部件。工作原理是傳感器轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)位于和接收極板之間的轉(zhuǎn)動(dòng)極板與之同步旋轉(zhuǎn)，輸入信號(hào)是反映角位移大小的幾何機(jī)械量，該機(jī)械量的變化引起敏感元件電容值的變化，經(jīng)電荷檢測(cè)電路測(cè)量，獲得與輸入電容大小成線(xiàn)性關(guān)系的電壓信號(hào)。本發(fā)明還提供一種采用此種方式的傳感器檢測(cè)角位移的方法。本發(fā)明提供的傳感器及其檢測(cè)方法的突出特性是溫漂小，具有良好的魯性和抗能力。

002 數(shù)字電容式交變可編程輸出型角位移傳感器
[摘要] 本發(fā)明涉及一種數(shù)字電容式交變可編程輸出型角位移傳感器，由機(jī)械和電氣兩大環(huán)節(jié)構(gòu)成；其中，機(jī)械結(jié)構(gòu)包括電容角位移傳感器敏感元件(由極板、轉(zhuǎn)動(dòng)極板、接收極板組成)、旋轉(zhuǎn)軸、軸承、本體和外罩等；電氣結(jié)構(gòu)包括測(cè)量部件(由選擇單元、激勵(lì)源和電荷檢測(cè)電路組成)、智能部件(由I/O單元、A/D單元、濾波單元、計(jì)算單元組成)和接口部件。工作原理是傳感器轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)位于和接收極板之間的轉(zhuǎn)動(dòng)極板與之同步旋轉(zhuǎn)，輸入信號(hào)是反映角位移大小的幾何機(jī)械量，該機(jī)械量的變化引起敏感元件電容值的變化，經(jīng)電荷檢測(cè)電路測(cè)量，獲得與輸入電容大小成線(xiàn)性關(guān)系的電壓信號(hào)。本發(fā)明的傳感器的突出特性是交變可編程模擬輸出工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)、溫漂小，具有良好的魯性和抗能力。

006 對(duì)稱(chēng)差動(dòng)電容式傳感器及其制造方法
[摘要] 一種對(duì)稱(chēng)差動(dòng)電容式傳感器(60)，包括圍繞幾何居中的旋轉(zhuǎn)軸(70)可樞轉(zhuǎn)的可動(dòng)元件(66)。元件(66)包括部件(86，88)。部件(86，88)的每個(gè)具有與旋轉(zhuǎn)軸(70)距離相等的止動(dòng)器(94，96)。部件(86，88)的每個(gè)也具有孔(102，106)的不同配置(104，108)。孔(102，106)的配置(104，108)造成部件(86，88)之間的質(zhì)量不平衡，使得元件(66)響應(yīng)于加速度圍繞旋轉(zhuǎn)軸(70)樞轉(zhuǎn)。孔(102，106)也可在制造期間促進(jìn)蝕刻釋放，并在元件(66)旋轉(zhuǎn)時(shí)減少空氣阻尼。孔(126，128)形成于位于孔(102，106)之下的電極(78，80)中，來(lái)匹配可動(dòng)元件(86)的兩部件(86，88)之間的電容，以提供相同的雙向激勵(lì)能力。

007 一種基于電場(chǎng)合成原理的電容式線(xiàn)位移傳感器
[摘要] 一種基于電場(chǎng)合成原理的電容式線(xiàn)位移傳感器，它是利用線(xiàn)位移方向均勻分布極板形成相變電場(chǎng)，通過(guò)不同位置的過(guò)渡感應(yīng)耦合電荷至公共電極，實(shí)現(xiàn)線(xiàn)位移的測(cè)量。上述原理構(gòu)成的傳感器具有以下特征：a.源極板1組、公共極板2布置在同一平面上構(gòu)成傳感器定片；b.感應(yīng)極板3為導(dǎo)電材料，直接連接外部線(xiàn)位移驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)件；c.定片上的源極板1沿線(xiàn)位移方向緊密排列、均勻分布，且各極板面積相等；d.激勵(lì)源電路、信號(hào)處理鑒相電路及信號(hào)差分電路是其基本附屬電路，集成或組合安裝于定片上；e.極板可直接制作在覆銅板上。

005 一種電容式角度扭矩雙信號(hào)車(chē)用傳感器
[摘要] 一種電容式角度扭矩雙信號(hào)車(chē)用傳感器，它是利用在測(cè)量扭桿的敏感軸上安裝雙角位移測(cè)量機(jī)構(gòu)的方法，實(shí)現(xiàn)角度和扭矩信號(hào)同時(shí)采集輸出。其角度測(cè)量通過(guò)在一種變結(jié)構(gòu)電容極板上形成多相電場(chǎng)后，經(jīng)過(guò)電場(chǎng)合成耦合實(shí)現(xiàn)。上述原理構(gòu)成的傳感器具有以下特征：a.軸聯(lián)動(dòng)片6固定于軸套5上，插入外接扭桿后跟隨扭桿轉(zhuǎn)動(dòng)；殼聯(lián)動(dòng)片10由外接扭桿敏感軸12另一端撥動(dòng)；b.定片上的源極板1沿圓周緊密排列、均勻分布，且面積相等；c.激勵(lì)源電路、信號(hào)處理鑒相電路及信號(hào)差分電路是其基本附屬電路，集成或組合安裝于定片上；d.極板可直接制作在覆銅板上。

001 在放大器反饋路徑中包括電容式壓力傳感器的壓力測(cè)量設(shè)備
004 一種數(shù)字激勵(lì)電容式傳感器測(cè)量?jī)x

以上7項(xiàng)技術(shù)包括在一張光盤(pán)內(nèi)
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