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006 電容式壓力傳感器
[摘要] 一種電容式壓力傳感器(10′)設(shè)置有一個(gè)檢測元件(12),該檢測元件被安裝在一個(gè)導(dǎo)電的杯形部件(24)內(nèi),而該杯形部件通過卷曲裝配到電連接件(20′)的底座上。一個(gè)調(diào)節(jié)電路(14)被安裝在一個(gè)位于傳感器元件和連接件之間的電路空腔內(nèi)并設(shè)置有一個(gè)凸舌,該凸舌安裝有一個(gè)用于將部件與電路導(dǎo)電連接在一起的導(dǎo)電軌道。該部件安裝在一個(gè)電絕緣套筒(28)內(nèi),而該套筒被安裝在一個(gè)位于高強(qiáng)度六端口金屬外殼中的腔體內(nèi),從而使該部件與該六端口外殼絕緣。一個(gè)設(shè)置在檢測元件(12)和部件的底壁之間的墊圈(26)可由導(dǎo)電材料制成,從而形成一個(gè)導(dǎo)電通路,該導(dǎo)電通路將一個(gè)設(shè)置在檢測元件之壓力檢測表面上的導(dǎo)電涂層與調(diào)節(jié)電路導(dǎo)電連接在一起,以進(jìn)行流體位移修正。
003 高精度電容式壓力傳感器
[摘要] 高精度電容式壓力傳感器是一種高精度、高溫、高壓電容式壓力傳感器,它主要包括信號(hào)線1、下外殼2、動(dòng)片固定螺栓3、動(dòng)片固定螺母4、墊片5、動(dòng)片6、薄墊片7、傳感性膜8、環(huán)形槽9、上外殼10、其中將上外殼、動(dòng)片固定螺栓、傳感性膜合為一個(gè)整體,動(dòng)片由動(dòng)片固定螺母固定在動(dòng)片固定螺栓上,在動(dòng)片的兩側(cè)分別墊有薄墊片7和墊片5,環(huán)形槽9設(shè)在傳感性膜上,最后將上外殼和下外殼焊接成型。
011 玻璃襯底和使用了該玻璃襯底的靜電電容式壓力傳感器
[摘要] 本技術(shù)提供一種能夠正確檢測壓力變化的靜電電容式壓力傳感器用的玻璃襯底。玻璃襯底(11)具有相互對置的一對主面(11a、11b)。在玻璃襯底(11)中埋設(shè)由硅構(gòu)成的島狀體(12a、12b)。島狀體(12a、12b)分別在玻璃襯底(11)的兩個(gè)主面上露出。在玻璃襯底(11)的主面(11a)上,與島狀體(12a)的一方的露出部分電連接地形成了電極(13a),與島狀體(12b)的一方的露出部分電連接地形成了電極(13b)。在玻璃襯底(11)的主面(11b)上,與島狀體(12a)的另一方的露出部分電連接地形成著電極(14)。在玻璃襯底(11)的主面(11b)上接合具有壓敏膜片(15a)的硅襯底(15)。
004 光纖光推動(dòng)電容式壓力傳感器
[摘要] 本技術(shù)涉及光纖光推動(dòng)電容式壓力傳感器的電源電路和電路的設(shè)計(jì)領(lǐng)域。其特點(diǎn)是可采用小功率的發(fā)光二極管作為光功率源,通過光纖光功率用以推動(dòng)電容式壓力敏感器件及其電路工作。測量信息由光纖給信號(hào)處理單元。傳感器與信號(hào)處理單元之間僅以光纖相互連接。本技術(shù)可同時(shí)測量壓力和溫度,具有精度高、抗能力強(qiáng),尤其適用于易燃、易、強(qiáng)電磁等場合下的壓力測量。
014 電容式壓力傳感器
[摘要] 壓力傳感器,包括基體(1)和性測量膜(2),該測量膜與基體(1)的表面接合以形成在邊緣密封封閉的測量腔(3);其中基體(1)和/或測量膜(2)包含陶瓷、玻璃或單晶材料;測量膜具有至少一個(gè)朝向基體(2)的表面的第一電極(6),基體(1)的表面具有至少一個(gè)朝向測量膜(2)的第二電極(5),其中第一電極和第二電極之間的電容是待測壓力的量度;其中進(jìn)一步,第一和第二電極中至少一個(gè)電極具有包含金屬和玻璃的導(dǎo)電層,其中金屬包括至少兩種貴金屬元素。
005 電容式半導(dǎo)體壓力傳感器
007 在放大器反饋路徑中包括電容式壓力傳感器的壓力測量設(shè)備
012 單片單晶硅微機(jī)械加工的電容式壓力傳感器
013 電容式壓力傳感器
016 電容式壓力傳感器
015 電容式壓力傳感器
002 電容式壓力傳感器
001 電容式壓力傳感器及其制造方法
014 電容式壓力傳感器
013 電容式壓力傳感器
015 電容式壓力傳感器
以上16項(xiàng)技術(shù)包括在一張光盤內(nèi)
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